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蚀刻用腐蚀液与配方比例

[color=red]腐蚀液[/color]
铝蚀刻液       Aluminum Etch :   H3PO4/HNO3/CH3COOH
ITO 蚀刻液     ITO Etch         :   HNO3/HCL
铬蚀刻液       Chrominum Etch: ACN/HNO3
多晶硅蚀刻液   Poly-Si Etch:    HNO3/HF
Ni刻蚀液                               ：HCl+HNO3+H2O+H2O2
Ti刻蚀液                                 ：HF+H2O


[color=red]配方比例[/color]
to yyxhd :铝 蚀刻液(PAE) 成分：H3PO4:HNO3:HAC:H2O=16:1:1:2
蚀刻温度一般是 40c+/-1c

to wesley :poly etchant HNO3:HF:H2O  前两者大概2：3 后面的H2O先不说了。反正很稀所以蚀刻速度不是很快。可以控制。和Sio2反映还是会的。。


[color=red]铝膜湿法刻蚀的蚀刻液的成分[/color]
[size=12px]每家不同的 比例不一样 速率也不一样
但有一点HNO3只可用一点点、但是H3PO4是主要的 CH3COOH 比HNO3 多几倍  但远少于H3PO4  
有一点还要根据你腐蚀的图形大小和SI含量来增加减少HNO3的含量[/size]
[size=12px] [/size]
[size=12px]铝腐蚀液的比例 硝酸：醋酸：磷酸=1：4：4[/size]
[size=12px] [/size]

:h  这字母加数字的咚咚都看布懂，面子没了

i1982die 简直是狂人啊，的美术功底+化学功底，一般人比不了你。

;) 看不懂  是不是 用市面上的硝酸 就可以了

偶得回家复习化学了

H3PO4 磷酸
/HNO3 硝酸
/CH3COOH 醋酸
HCL 盐酸
AC 是醋酸根的缩写 Ch3COOH-
HAC 因该就是醋酸吧
HF 氢氟酸
H2O 是水.........
不过楼主 没有说明酸的浓度啊！
HCl 最高浓度 36%
硝酸 98%
别的都忘了.... 上大学学机械的，化学生物记得高中时候很好，都忘光了

:ohh: :ohh: :ohh: 感觉楼主都可以做原子弹了:cool: :cool: :cool:

:funk: 楼主是化学高手啊~~~

[quote]原帖由 [i]kyo5678[/i] 于 2006-12-24 18:23 发表
:ohh: :ohh: :ohh: 感觉楼主都可以做原子弹了:cool: :cool: :cool: [/quote]




:cool: 我想他能做出来。

[quote]原帖由 [i]tony51321[/i] 于 2006-12-16 09:30 发表
H3PO4 磷酸
/HNO3 硝酸
/CH3COOH 醋酸
HCL 盐酸
AC 是醋酸根的缩写 Ch3COOH-
HAC 因该就是醋酸吧
HF 氢氟酸
H2O 是水.........
不过楼主 没有说明酸的浓度啊！
HCl 最高浓度 36%
硝酸 98%
别的都忘 ... [/quote]

非常感谢！这样就好了！

应该让蓝图版主给大家恶补一下化学课后,再来做做一条版主的功课.:ohh:

看不懂啊
不过:lol:

感觉楼主都可以做原子弹了

都是作研究的！！

看不懂.能说的通俗点吗.直接说名称和比例就行

看看、、、、、、、、、、看看、、、、、、、、、

晕，我只买到硫酸。。。。。

感觉效果不大，难道，是硫酸不行？？？？
;)

:h :h 为什么我的化学老师不好好的教我啊,有没有搞错,看都看不懂,别说亲自作了

学到了,支持一下 谢